μPhase?系列干涉儀用于測(cè)量高精度要求的光學(xué)零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測(cè)量可保證在不傷害光學(xué)表面的前提下對(duì)光學(xué)表面及波前進(jìn)行較精確的評(píng)價(jià)。
μPhase?系列干涉儀得益于該設(shè)備緊湊與模塊化的設(shè)計(jì)理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase?系列干涉儀的各個(gè)組成部件相對(duì)獨(dú)立，相互兼容，可靈活組合成有針對(duì)性應(yīng)用的強(qiáng)大干涉計(jì)量系統(tǒng)。

  產(chǎn)品特點(diǎn)： 

• 模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊；
• 測(cè)量適用性強(qiáng)，保證可以在各種工作與生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行檢測(cè)；
• 可測(cè)量反射率0.3%-100%的光學(xué)表面，覆蓋范圍廣；
• 數(shù)字化測(cè)量，避免人為損壞；
• 完美的結(jié)構(gòu)，全面的軟件，為生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)室提供支持；
• 獨(dú)一無(wú)二的的產(chǎn)品特點(diǎn)：泰曼格林型/菲索型組合或用于校準(zhǔn)樣品的第二個(gè)相機(jī)，為μPhase系列干涉儀的使用提供了便利。

μPhase? Vertical PRO

• 理想的大型平面的檢測(cè)系統(tǒng)，光學(xué)材料的均勻性檢測(cè)系統(tǒng)
• 理想的成盤(pán)拋光分塊鏡面形檢測(cè)系統(tǒng)
• 測(cè)量范圍60-300mm
• 立式檢測(cè)系統(tǒng)，其它檢測(cè)方式根據(jù)要求可訂制
• 具有重型光學(xué)元件的支承、調(diào)整等操作功能。