750010 產品規(guī)格書
750010 產品規(guī)格書
產品信息
光學元件表面檢測
產品編號：750010
產品描述
ARGOS根據(jù)ISO 10110-7 標準進行質量檢測，能顯著減輕質檢員費時、費力進行表面缺陷檢驗的工作 質檢員可通過測試結果，給出生產線上的糾正錯誤，提高測試樣品質量。
產品特點
產品特點
- 快速檢驗整個表面
- 提高產出和品質
- 完全符合ISO 10110-7文件標準
| 選項 | 測試和驗證 | 缺陷類型 | 便于使用 |
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| 典型缺陷 |
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| (從左到右) 麻點 / 長劃痕 / 密集缺陷 / 崩邊 |
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| 玻璃上由聚焦離子束導致的缺陷參考 |
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| 校準 |
規(guī)格參數(shù)
精度
| 最小ISO規(guī)格 | 5/ 1x0.016; C1x0.04; L1x0.01; E 0.04 | 評估為指定麻點尺寸的16%和指定劃痕尺寸的25%。 |
| 重復性 | >98% for 5/1×0.16 | 指定同等級 |
| >95% for 5/1×0.04 | ||
| 可見度 | <1μm | 由于光學分辨率的重復性，小于2.5μm的可見缺陷被評定為等級0.0025。 |
| 精度 | <1μm | 相同參考樣品30次重復插入的標準偏差 |
| 真實性 | < 2 μm (dig) | 檢驗結果接近真實值 |
| < 1 μm (scratch) |